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GTD系列

 具有良好的直線度及平面度
n 直接驅動,無背隙及齒槽效應,高響應及平滑性表現
n 光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm
n 高剛性的龍門結構設計
n 有效行程400mm by 250mm

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0755-23730066
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性能特點:

具有良好的直線度及平面度

直接驅動,無背隙及齒槽效應,高響應及平滑性表現

光柵尺分辨率可選0.5um,0.1um,20nm或5nm

高剛性的龍門結構設計

有效行程400mm by 250mm

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